Pourquoi la détection des fuites est importante dans le fab

La fabrication de semi-conducteurs dépend d’un équipement de production et d’une infrastructure de services publics étroitement contrôlés. L’air sec comprimé (CDA), l’azote et d’autres distributions de gaz spécialisés, les commandes pneumatiques et les systèmes liés au vide sont utilisés dans les environnements de fabrication et subfab. Avec de nombreuses vannes, raccords, régulateurs, collecteurs et points de connexion, les petites fuites peuvent être difficiles à localiser rapidement pendant l’inspection de routine.

Les fuites non détectées peuvent contribuer à une consommation inutile des services publics, à des coûts d’exploitation plus élevés et à des efforts de maintenance supplémentaires. Dans les systèmes liés au vide, les fuites indésirables peuvent également devenir un problème d’équipement ou de processus. Une détection efficace des fuites aide les équipes de maintenance dans leur travail quotidien et minimise les perturbations des opérations normales.

Inspections qui font la différence

Les fabs de semi-conducteurs reposent sur des systèmes complets d’air sec comprimé, d’azote, de gaz spécialisé, liés au vide et pneumatiques. La détection des fuites en temps opportun peut aider à réduire les pertes de services publics, à améliorer la productivité de la maintenance et à prendre en charge des opérations de fabrication fiables.

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Où les fuites sont fréquemment étudiées

• Air sec comprimé (CDA) : tuyauterie de distribution, régulateurs, raccords et points de connexion.
• Réseaux d’azote et de gaz spécialisés : lignes de distribution, armoires, collecteurs, vannes et connexions.
• Systèmes liés au vide : équipement sous vide et connexions où une fuite produit un signal acoustique détectable, plus des lignes de purge de pompe à vide.
• Commandes pneumatiques : actionneurs, tubulures, vannes et connexions de commande locales.
• Infrastructure de gaz utilitaire : patins de gaz en vrac, systèmes d’air utilitaires et équipement de distribution de soutien.

Le défi de l’inspection

Les inspections traditionnelles des fuites peuvent prendre du temps lorsque les techniciens doivent inspecter de grandes zones, tracer de longues canalisations ou travailler autour d’équipements emballés. Dans un environnement fabuleux ou subfab, le défi consiste à localiser la source suffisamment rapidement pour hiérarchiser la bonne action de suivi ou de réparation. L’imagerie acoustique visualise le son généré par une fuite, aidant les techniciens à scanner plusieurs points de fuite potentiels rapidement et efficacement.

Comment Flir Si2-LD prend en charge les inspections de fuites dans les usines de semi-conducteurs

Flir Si2-LD est une caméra d’imagerie acoustique industrielle pour la détection des fuites sous pression et la détection des défauts mécaniques. Dans la fabrication de semi-conducteurs, il peut prendre en charge l’inspection des systèmes CDA, la distribution d’azote et de gaz spécialisés, les armoires à gaz, les collecteurs de vannes, les commandes pneumatiques, les systèmes liés au vide et d’autres infrastructures utilitaires où des fuites pourraient potentiellement se produire. Au lieu de vérifier les composants minutieusement et une par une, les techniciens peuvent balayer de grandes zones, localiser rapidement les fuites, capturer des instantanés pour les rapports et passer aux actions de maintenance requises. Les gaz tels que l’ azote, l’ammoniac, l’hélium et l’argon sont pris en charge pour le taux de fuite estimé et la quantification des coûts. Le Si2-LD est également une solution efficace pour la détection des fuites de vide.

Un flux de travail d’inspection pratique

1. Enquête : Scannez la zone d’inspection à partir d’une position d’inspection sûre et pratique.
2. Localiser : Utilisez la caméra d’imagerie acoustique pour trouver les fuites présentes dans les zones inspectées.
3. Document : Prenez des instantanés de référence et d’autres informations d’inspection pertinentes pour le suivi de la maintenance.
4. Hiérarchiser : Discutez du rapport généré avec les critères de maintenance de l’usine pour déterminer la priorité de la réparation.
5. Vérifier : Après le travail correctif, réinspecter la zone pour confirmer que les fuites identifiées ont été traitées.

Valeur opérationnelle pour les équipes de maintenance des semi-conducteurs

• Localisez les fuites plus rapidement dans les systèmes d’utilité et d’équipement complexes.
• Réduisez les pertes inutiles d’air comprimé, d’ azote et d’autres gaz spéciaux grâce à un plan de détection des fuites approprié.
• Améliorer l’efficacité de l’inspection là où de nombreux points de fuite potentiels doivent être vérifiés.
• Soutenir la fiabilité de l’équipement et des services publics en portant l’attention de la maintenance sur les conditions anormales plus tôt.
• Fournir des preuves visuelles dans des rapports qui peuvent être partagés entre les équipes de maintenance, d’installations et d’ingénierie.
• Soutenir des programmes d’inspection proactifs avec des protocoles de détection des fuites moins chronophages.

Bonnes pratiques dans l’usine

L’imagerie acoustique doit être utilisée dans le cadre du processus d’inspection et de maintenance établi du site. Les règles d’ accès, les exigences de salle blanche, les procédures de sécurité, les conditions de fonctionnement et les caractéristiques du système cible doivent être prises en compte avant l’inspection. La détectabilité dépend de la taille de la fuite, de la pression, de la distance, du bruit de fond et d’autres conditions du site. Les résultats doivent être signalés et suivis d’ actions conformément aux procédures de l’installation et aux capacités de l’équipement approuvé.