Por que a detecção de vazamentos é importante na fábrica

A fabricação de semicondutores depende de equipamentos de produção e infraestrutura de serviços públicos rigorosamente controlados. O ar seco comprimido (CDA), a distribuição de nitrogênio e outros gases especiais, os controles pneumáticos e os sistemas relacionados ao vácuo são usados em ambientes de fabricação e subfabricação. Com muitas válvulas, conexões, reguladores, coletores e pontos de conexão, pequenos vazamentos podem ser difíceis de localizar rapidamente durante a inspeção de rotina.

Vazamentos não detectados podem contribuir para o consumo desnecessário de serviços públicos, maior custo operacional e esforço de manutenção adicional. Em sistemas relacionados ao vácuo, vazamentos indesejados também podem se tornar uma preocupação em equipamentos ou processos. A detecção eficiente de vazamentos ajuda as equipes de manutenção em seu trabalho diário e minimiza a interrupção das operações normais.

Inspeções que fazem a diferença

As fábricas de semicondutores dependem de sistemas extensos de ar seco comprimido, nitrogênio, gás especial, relacionados ao vácuo e pneumáticos. A detecção oportuna de vazamentos pode ajudar a reduzir perdas de serviços públicos, melhorar a produtividadeda manutenção e oferecer suporte a operações de fabricação confiáveis.

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Onde os vazamentos são comumente investigados

• Ar seco comprimido (CDA): tubulação de distribuição, reguladores, conexões e pontos de conexão.
• Redes de nitrogênio e gás especial: linhas de distribuição, gabinetes, coletores, válvulas e conexões.
• Sistemas relacionados ao vácuo: equipamentos de vácuo e conexões onde um vazamento produz um sinal acústico detectável, além de linhas de purga da bomba de vácuo.
• Controles pneumáticos: atuadores, tubos, válvulas e conexões de controle local.
• Infraestrutura de gás para serviços públicos: plataformas de gás a granel, sistemas de ar para serviços públicos e equipamentos de distribuição de suporte.

O desafio da inspeção

As inspeções tradicionais de vazamentos podem ser demoradas quando os técnicos devem inspecionar grandes áreas, rastrear tubulações longas ou trabalhar ao redor de equipamentos embalados. Em um ambiente de fabricação ou subfabricação, o desafio é localizar a fonte com rapidez suficiente para priorizar o acompanhamento ou a ação de reparo correta. A imagem acústica visualiza o som gerado por um vazamento, ajudando os técnicos a digitalizar vários possíveis pontos de vazamento de forma rápida e eficiente.

Como o Flir Si2-LD suporta inspeções de vazamentos em fábricas de semicondutores

A Flir Si2-LD é uma câmera de imagem acústica industrial para detecção de vazamentos pressurizados e detecção de falhas mecânicas. Na fabricação de semicondutores, ela pode dar suporte à inspeção de sistemas CDA, distribuição de nitrogênio e gás especial, gabinetes de gás, coletores de válvulas, controles pneumáticos, sistemas relacionados a vácuo e outras infraestruturas de serviços públicos onde vazamentos podem potencialmente acontecer. Em vez de verificar componentes completamente e um a um, os técnicos podem verificar grandes áreas e verificar grandes áreas, localizar rapidamente vazamentos, capturar instantâneos para geração de relatórios e passar para as ações de manutenção necessárias. Gases como nitrogênio, amônia, hélio e argônio são suportados para a taxa de vazamento estimada e quantificação de custo. A Si2-LD também é uma solução eficiente para detecção de vazamentos a vácuo.

Um fluxo de trabalho de inspeção prático

1. Pesquisa: Faça a varredura da área de inspeção a partir de uma posição de inspeção segura e prática.
2. Localização: Use a câmera de imagem acústica para encontrar os vazamentos presentes nas áreas inspecionadas.
3. Documento: Tire instantâneos de referência e outras informações de inspeção relevantes para acompanhamento de manutenção.
4. Priorize: Discuta o relatório gerado junto com os critérios de manutenção da fábrica para determinar a prioridade do reparo.
5. Verifique: Após o trabalho corretivo, inspecione novamente a área para confirmar se os vazamentos identificados foram resolvidos.

Valor operacional para equipes de manutenção de semicondutores

• Localize vazamentos mais rapidamente em sistemas complexos de serviços públicos e equipamentos.
• Reduza perdas desnecessárias de ar comprimido, nitrogênio e outros gases especiais com um plano adequado de detecção de vazamentos.
• Melhore a eficiência da inspeção onde muitos pontos de vazamento potenciais devem ser verificados.
• Dê suporte à confiabilidade de equipamentos e serviços públicos,  chamando a atenção da manutenção para condições anormais mais cedo.
• Forneça evidências visuais em relatórios que podem ser compartilhados entre equipes de manutenção, instalações e engenharia.
• Ofereça suporte a programas de inspeção proativos com protocolos de detecção de vazamentos menos demorados.

Boas práticas na fabricação

As imagens acústicas devem ser usadas como parte do processo de inspeção e manutenção estabelecido pelo local. Regras de acesso, requisitos de sala limpa, procedimentos de segurança, condições operacionais e as características do sistema alvo devem ser consideradas antes da inspeção. A detectabilidade depende do tamanho do vazamento, pressão, distância, ruído de fundo e outras condições do local. Os achados devem ser relatados e seguidos por ações de acordo com os procedimentos da instalação e recursos aprovados do equipamento.