Perché il rilevamento delle perdite è importante nella fab

La produzione di semiconduttori dipende da apparecchiature di produzione e infrastrutture di pubblica utilità strettamente controllate. L'aria secca compressa (CDA), la distribuzione di azoto e altri gas speciali, i controlli pneumatici e i sistemi correlati al vuoto vengono utilizzati in ambienti fab e sottofab. Con molte valvole, raccordi, regolatori, collettori e punti di collegamento, piccole perdite possono essere difficili da individuare rapidamente durante le ispezioni di routine.

Le perdite non rilevate possono contribuire a un consumo inutile delle utility, a costi operativi più elevati e a ulteriori interventi di manutenzione. Nei sistemi a vuoto, le perdite indesiderate possono anche diventare un problema di apparecchiatura o processo. Il rilevamento efficiente delle perdite aiuta i team di manutenzione nel loro lavoro quotidiano e riduce al minimo le interruzioni delle normali operazioni.

Ispezioni che fanno la differenza

Le fabbriche di semiconduttori si affidano a sistemi pneumatici, ad aria secca compressa estesa, azoto, gas speciali, correlati al vuoto. Il rilevamento tempestivo delle perdite può aiutare a ridurre le perdite di utenze, migliorare la produttività della manutenzione e supportare operazioni fab.

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Dove le perdite vengono comunemente esaminate

• Aria secca compressa (CDA): tubazioni di distribuzione, regolatori, raccordi e punti di collegamento.
• Reti di azoto e gas speciali: linee di distribuzione, armadi, collettori, valvole e connessioni.
• Sistemi correlati al vuoto: apparecchiature per il vuoto e collegamenti in cui una perdita produce un segnale acustico rilevabile, oltre a linee di spurgo della pompa a vuoto.
• Controlli pneumatici: attuatori, tubi, valvole e connessioni di controllo locali.
• Infrastrutture di gas per servizi pubblici: skid per gas sfusi, sistemi aerei per servizi pubblici e apparecchiature di distribuzione di supporto.

La sfida dell'ispezione

Le ispezioni tradizionali delle perdite possono richiedere molto tempo quando i tecnici devono ispezionare grandi aree, tracciare lunghe tubazioni o lavorare intorno ad apparecchiature imballate. In un ambiente fab o subfab, la sfida è localizzare la fonte abbastanza rapidamente da dare priorità all’ azione di follow-up o riparazione corretta. L’imaging acustico visualizza il suono generato da una perdita, aiutando i tecnici a scansionare più potenziali punti di perdita in modo rapido ed efficiente.

Come Flir Si2-LD supporta le ispezioni delle perdite negli impianti di semiconduttori

Flir Si2-LD è una telecamera acustica industriale per il rilevamento di perdite pressurizzate e guasti meccanici. Nella produzione di semiconduttori, può supportare l’ispezione di sistemi CDA, distribuzione di azoto e gas speciali, armadi di gas, collettori di valvole, controlli pneumatici, sistemi correlati al vuoto e altre infrastrutture di utility in cui potrebbero verificarsi perdite. Invece di controllare accuratamente i componenti e uno per uno, i tecnici possono scansionare grandi aree scansionare grandi aree, individuare rapidamente le perdite, acquisire istantanee per la creazione di rapporti e passare alle azioni di manutenzione richieste. I gas come azoto, ammoniaca, elio e argon sono supportati per la stima del tasso di perdita e la quantificazione dei costi. Si2-LD è anche una soluzione efficiente per il rilevamento di perdite sotto vuoto.

Un pratico flusso di lavoro per l'ispezione

1. Sondaggio: Eseguire la scansione dell'area di ispezione da una posizione di ispezione sicura e pratica.
2. Localizza: Utilizzare la termocamera acustica per individuare le perdite presenti nelle aree ispezionate.
3. Documento: Scattare istantanee di riferimento e altre informazioni di ispezione pertinenti per il follow-up della manutenzione.
4. Dare priorità a: Discutere il report generato insieme ai criteri di manutenzione dell'impianto per determinare la priorità di riparazione.
5. Verifica: Dopo i lavori correttivi, ispezionare nuovamente l'area per confermare che le perdite identificate sono state risolte.

Valore operativo per i team di manutenzione dei semiconduttori

• Individua le perdite più velocemente tra sistemi complessi di utility e apparecchiature.
• Riduci inutili perdite di aria compressa, azoto e altri gas speciali con un piano di rilevamento delle perdite adeguato.
• Migliora l'efficienza di ispezione dove è necessario controllare molti potenziali punti di perdita.
• Supporta l'affidabilità delle apparecchiature e delle utility,  prestando attenzione alla manutenzione in condizioni anomale.
• Fornire prove visive nei rapporti che possono essere condivisi tra team di manutenzione, strutture e ingegneri.
• Supporta programmi di ispezione proattivi con protocolli di rilevamento delle perdite meno dispendiosi in termini di tempo.

Buone pratiche nella fab

L'imaging acustico deve essere utilizzato come parte del processo di ispezione e manutenzione stabilito dal sito. Prima dell'ispezione è necessario considerare regole di accesso, requisiti di camera bianca, procedure di sicurezza, condizioni operative e caratteristiche del sistema di destinazione. La rilevabilità dipende dalle dimensioni della perdita, dalla pressione, dalla distanza, dal rumore di fondo e da altre condizioni del sito. I risultati devono essere segnalati e seguiti da azioni secondo le procedure della struttura e le capacità approvate delle apparecchiature.