Cómo encontrar fugas de vacío, aire y gas más rápido en la fabricación de semiconductores

Por qué la detección de fugas es importante en la fábrica

La fabricación de semiconductores depende de equipos de producción e infraestructura de servicios públicos estrictamente controlados. El aire seco comprimido (CDA), el nitrógeno y otra distribución de gases especializados, los controles neumáticos y los sistemas relacionados con el vacío se utilizan en entornos de fabricación y subfabricación. Con muchas válvulas, accesorios, reguladores, colectores y puntos de conexión, las pequeñas fugas pueden ser difíciles de localizar rápidamente durante la inspección de rutina.

Las fugas no detectadas pueden contribuir a un consumo innecesario de servicios públicos, un mayor costo operativo y un esfuerzo de mantenimiento adicional. En los sistemas relacionados con el vacío, las fugas no deseadas también pueden convertirse en una preocupación de los equipos o procesos. La detección eficiente de fugas ayuda a los equipos de mantenimiento en su trabajo diario y minimiza las interrupciones en las operaciones normales.

Inspecciones que marcan la diferencia

Los grifos semiconductores dependen de amplios sistemas de aire seco comprimido, nitrógeno, gas especializado, relacionados con el vacío y neumáticos. La detección oportuna de fugas puede ayudar a reducir las pérdidas de servicios públicos, mejorar el mantenimientoproductividad y respaldar operaciones de fabricación confiables.

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Dónde se investigan comúnmente las fugas

  • Aire seco comprimido (CDA): tubería de distribución, reguladores, accesorios y puntos de conexión.
  • Redes de nitrógeno y gas especializado: líneas de distribución, gabinetes, colectores, válvulas y conexiones.
  • Sistemas relacionados con el vacío: equipos de vacío y conexiones donde una fuga produce una señal acústica detectable, más líneas de purga de bomba de vacío.
  • Controles neumáticos: actuadores, tubos, válvulas y conexiones de control local.
  • Infraestructura de gas de servicios públicos: plataformas de gas a granel, sistemas de aire de servicios públicos y equipos de distribución de soporte.

una imagen acústica que muestra una fuga de aire en un accesorio de tubería

El desafío de la inspección

Las inspecciones tradicionales de fugas pueden llevar mucho tiempo cuando los técnicos deben inspeccionar grandes áreas, trazar tuberías largas o trabajar alrededor de equipos empaquetados. En un entorno de fabricación o subfabricación, el desafío es localizar la fuente lo suficientemente rápido como para priorizar el seguimiento correcto o la acción de reparación. Las imágenes acústicas visualizan el sonido generado por una fuga, lo que ayuda a los técnicos a escanear múltiples puntos de fuga potenciales de manera rápida y eficiente.

Cómo Flir Si2-LD admite inspecciones de fugas en plantas de semiconductores

Flir Si2-LD es una cámara de imágenes acústicas industrial para la detección de fugas presurizadas y la detección de fallas mecánicas. En la fabricación de semiconductores, puede respaldar la inspección de sistemas CDA, distribución de nitrógeno y gas especializado, gabinetes de gas, colectores de válvulas, controles neumáticos, sistemas relacionados con el vacío y otra infraestructura de servicios públicos donde podrían ocurrir fugas. En lugar de revisar los componentes minuciosamente y uno por uno, los técnicos pueden escanear grandes áreas y escanear grandes áreas, localizar rápidamente fugas, capturar instantáneas para informes y pasar a las acciones de mantenimiento requeridas. Gases como nitrógeno, amoníaco, helio y argón están respaldados para la tasa de fuga estimada y la cuantificación de costos. Si2-LD también es una solución eficiente para la detección de fugas de vacío.

Un flujo de trabajo de inspección práctico

  1. Encuesta: Escanee el área de inspección desde una posición de inspección segura y práctica.
  2. Localizar: Utilice la cámara acústica de imágenes para encontrar las fugas presentes en las áreas inspeccionadas.
  3. Documento: Tome instantáneas de referencia y otra información de inspección relevante para el seguimiento de mantenimiento.
  4. Priorice: Analice el informe generado junto con los criterios de mantenimiento de la planta para determinar la prioridad de reparación.
  5. Verifique: Después del trabajo correctivo, vuelva a inspeccionar el área para confirmar que se hayan abordado las fugas identificadas.

un trabajador de mantenimiento apuntando un si2-ld a una pieza de maquinaria y viendo una fuga de aire

Valor operativo para equipos de mantenimiento de semiconductores

  • Localice fugas más rápido en sistemas complejos de servicios públicos y equipos.
  • Reduzca las pérdidas innecesarias de aire comprimido, nitrógeno y otros gases especializados con un plan adecuado de detección de fugas.
  • Mejore la eficiencia de la inspección donde se deben verificar muchos posibles puntos de fuga.
  • Respalde la confiabilidad de los equipos y servicios públicos al llamar la atención sobre el mantenimiento a condiciones anormales antes.
  • Proporcione evidencia visual en informes que puedan  compartirse entre los equipos de mantenimiento, instalaciones e ingeniería.
  • Respalde programas de inspección proactiva con protocolos de detección de fugas que consumen menos tiempo.

Buenas prácticas en la fábrica

Las imágenes acústicas deben utilizarse como parte del proceso de inspección y mantenimiento establecido del sitio. Las reglas de acceso, los requisitos de sala limpia, los procedimientos de seguridad, las condiciones operativas y las características del sistema objetivo deben considerarse antes de la inspección. La detectabilidad depende del tamaño de la fuga, la presión, la distancia, el ruido de fondo y otras condiciones del sitio. Los hallazgos deben informarse y seguirse mediante acciones de acuerdo con los procedimientos de la instalación y las capacidades aprobadas del equipo.

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