Por qué es importante la detección de fugas en la fábrica

La fabricación de semiconductores depende de equipos de producción e infraestructura de servicios públicos estrechamente controlados. El aire seco comprimido (CDA), el nitrógeno y otras distribuciones de gases especiales, los controles neumáticos y los sistemas relacionados con el vacío se utilizan en entornos de fabricación y fabricación secundaria. Con muchas válvulas, accesorios, reguladores, colectores y puntos de conexión, puede ser difícil localizar pequeñas fugas rápidamente durante la inspección rutinaria.

Las fugas no detectadas pueden contribuir a un consumo innecesario de servicios públicos, un mayor coste operativo y un esfuerzo de mantenimiento adicional. En los sistemas relacionados con el vacío, las fugas no deseadas también pueden convertirse en una preocupación de los equipos o procesos. La detección eficiente de fugas ayuda a los equipos de mantenimiento en su trabajo diario y minimiza las interrupciones en las operaciones normales.

Inspecciones que marcan la diferencia

Las fábricas de semiconductores dependen de amplios sistemas de aire seco comprimido, nitrógeno, gas especializado, relacionados con el vacío y neumáticos. La detección oportuna de fugas puede ayudar a reducir las pérdidas de servicios públicos, mejorar el mantenimientoproductividad y respaldar operaciones de fabricación fiables.

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Donde las fugas se investigan comúnmente

• Aire seco comprimido (CDA): tuberías de distribución, reguladores, accesorios y puntos de conexión.
• Redes de nitrógeno y gas especializado: líneas de distribución, armarios, colectores, válvulas y conexiones.
• Sistemas relacionados con el vacío: equipos de vacío y conexiones en las que una fuga produce una señal acústica detectable, más líneas de purga de bomba de vacío.
• Controles neumáticos: actuadores, tubos, válvulas y conexiones de control local.
• Infraestructura de gas de servicios públicos: plataformas de gas a granel, sistemas de aire de servicios públicos y equipos de distribución de apoyo.

El desafío de la inspección

Las inspecciones de fugas tradicionales pueden llevar mucho tiempo cuando los técnicos deben inspeccionar grandes áreas, rastrear tuberías largas o trabajar alrededor de equipos empaquetados. En un entorno fabuloso o secundario, el desafío es localizar la fuente lo suficientemente rápido como para priorizar el seguimiento correcto o la acción de reparación. La imagen acústica visualiza el sonido generado por una fuga, lo que ayuda a los técnicos a escanear múltiples puntos de fuga potenciales de forma rápida y eficiente.

Cómo Flir Si2-LD admite inspecciones de fugas en plantas de semiconductores

Flir Si2-LD es una cámara acústica industrial para la detección de fugas presurizadas y la detección de fallos mecánicos. En la fabricación de semiconductores, puede respaldar la inspección de sistemas CDA, distribución de nitrógeno y gas especializado, armarios de gas, colectores de válvulas, controles neumáticos, sistemas relacionados con el vacío y otra infraestructura de servicios públicos donde podrían producirse fugas. En lugar de comprobar los componentes minuciosamente y uno por uno, los técnicos pueden escanear grandes áreas y escanear grandes áreas, localizar rápidamente fugas, capturar instantáneas para la elaboración de informes y pasar a las acciones de mantenimiento necesarias. Los gases como el nitrógeno, el amoniaco, el helio y el argón son compatibles para la cuantificación estimada de la tasa de fugas y el coste. Si2-LD también es una solución eficiente para la detección de fugas de vacío.

Un flujo de trabajo de inspección práctico

1. Encuesta: Escanee el área de inspección desde una posición de inspección segura y práctica.
2. Localizar: Utilice la cámara de imágenes acústicas para encontrar las fugas presentes en las áreas inspeccionadas.
3. Documento: Tome instantáneas de referencia y otra información de inspección relevante para el seguimiento del mantenimiento.
4. Priorizar: Analice el informe generado junto con los criterios de mantenimiento de la planta para determinar la prioridad de reparación.
5. Verifique: Después del trabajo correctivo, vuelva a inspeccionar el área para confirmar que se han solucionado las fugas identificadas.

Valor operativo para equipos de mantenimiento de semiconductores

• Localice fugas más rápido en sistemas complejos de servicios públicos y equipos.
• Reduzca las pérdidas innecesarias de aire comprimido, nitrógeno y otros gases especializados con un plan de detección de fugas adecuado.
• Mejore la eficiencia de la inspección donde se deben comprobar muchos posibles puntos de fuga.
• Respalde la fiabilidad de los equipos y servicios públicos al llamar la atención sobre las condiciones anómalas antes.
• Proporcione pruebas visuales en informes que se pueden compartir entre los equipos de mantenimiento, instalaciones e ingeniería.
• Respalde programas de inspección proactiva con protocolos de detección de fugas que consumen menos tiempo.

Buenas prácticas en la industria

Las imágenes acústicas deben utilizarse como parte del proceso de inspección y mantenimiento establecido del centro. Las reglas de acceso, los requisitos de la sala limpia, los procedimientos de seguridad, las condiciones de funcionamiento y las características del sistema objetivo deben tenerse en cuenta antes de la inspección. La detección depende del tamaño de la fuga, la presión, la distancia, el ruido de fondo y otras condiciones del centro. Los hallazgos deben notificarse y seguirse por acciones de acuerdo con los procedimientos de la instalación y las capacidades del equipo aprobado.